1.鎂熱還原法

鎂熱還原法，一般采用(yòng)稻殼來制備納米碳化矽粉，用(yòng)納米SiO2/C複合物(wù)鎂熱還原生成納米SiC的反應，通過控制反應時間和反應熱量，來讓納米氧化矽稻殼轉化為(wèi)SiC納米顆粒，産(chǎn)率達到10%左右，納米碳化矽原始顆粒大小(xiǎo)約為(wèi)20-30nm。

此方法成本低廉，原料好得，但鎂熱反應過程難控制、不能(néng)保證完全反應且納米碳化矽産(chǎn)量低，該方法适合實驗研究，不太适合工(gōng)業化大規模生産(chǎn)。

2、激光誘導氣相反應合成法

激光誘導化學(xué)氣相反應法是利用(yòng)激光發生器來引發、誘導、活化反應物(wù)體(tǐ)系，從而合成得高純度納米粉體(tǐ)得方法。采用(yòng)雙反應室激光氣相合成納米碳化矽粉體(tǐ)裝(zhuāng)置，以六甲基二矽胺烷、乙炔、矽烷等為(wèi)原料，可(kě)以制備粒徑30-500nm不同粒度的納米碳化矽材料。

此方法制造工(gōng)藝成熟，納米碳化矽粉體(tǐ)呈近球形單分(fēn)散顆粒，無團聚産(chǎn)品質(zhì)量好、可(kě)以工(gōng)業化生産(chǎn)供應，但要求生産(chǎn)設備、工(gōng)藝參數控制都比較高、技(jì )術要求高。上海超威納米科(kē)技(jì )有(yǒu)限公(gōng)司可(kě)以批量供應立方β-納米碳化矽，産(chǎn)品有(yǒu)（40nm\100nm\500nm\1um\5um等不同的粒度），上海超威也可(kě)以按照客戶實際需求提供定制化産(chǎn)品和納米碳化矽粉表面改性服務(wù)及其應用(yòng)技(jì )術支持。

3、熱化學(xué)氣相反應法

熱化學(xué)氣相反應法，稱化學(xué)氣相沉積法。該方法應用(yòng)廣, 可(kě)以用(yòng)來制備納米粉體(tǐ)、納米晶須、纖維、納米薄膜和功能(néng)陶瓷材料等, 近年來主要應用(yòng)在半導體(tǐ)納米薄膜技(jì )術上。随着納米材料研究的深入, 現已成為(wèi)制備納米粉體(tǐ)和薄膜的主要工(gōng)業技(jì )術。

采用(yòng)熱化學(xué)氣相反應法制備納米粉體(tǐ), 有(yǒu)利于獲得好的工(gōng)藝條件, 立方碳化矽粉粉體(tǐ)成分(fēn)、形貌、尺寸、晶相等的可(kě)調可(kě)控，但缺點是該工(gōng)業技(jì )術要求高，反應副産(chǎn)物(wù)需要收集處理(lǐ)。

4、溶膠-凝膠法

溶膠-凝膠法，采用(yòng)微納米粉體(tǐ)的前軀體(tǐ)在一定的條件下水解，形成納米溶膠，然後把溶劑抽濾、揮發掉，并加熱幹燥等處理(lǐ)，使溶膠轉變成絮狀結構的凝膠，在經過後處理(lǐ)工(gōng)藝形成微納米粉體(tǐ)的方法。比如納米碳化矽粉一般用(yòng)蔗糖和正矽酸乙酯為(wèi)前軀體(tǐ)，用(yòng)溶膠-凝膠法通過合理(lǐ)控制反應條件，得粒徑為(wèi)30-50nm左右β-納米碳化矽粉。

此方法原料成本低廉，工(gōng)藝流程簡單，副産(chǎn)物(wù)污染小(xiǎo)，設備不複雜等特點，但生産(chǎn)出的立方碳化矽粉團聚比較厲害，在高分(fēn)子體(tǐ)系中(zhōng)使用(yòng)，很(hěn)難分(fēn)散開，納米碳化矽粉顆粒硬團聚厲害，需要進一步破碎解聚。